Los gases especiales para electrónica, conocidos como gases especiales electrónicos, son productos de alta tecnología y alto valor agregado ampliamente utilizados en las industrias de semiconductores y microelectrónica. Estos gases incluyen principalmente hidruros, fluoruros, fluorocarbonos, compuestos metal-orgánicos y otros. Son materiales esenciales en la producción de circuitos integrados a ultra gran escala, dispositivos de visualización de pantalla plana, dispositivos semiconductores compuestos, células solares y fibras ópticas. Estos gases se aplican ampliamente en procesos como la fabricación de películas delgadas, el grabado, el dopaje, la deposición química de vapor (CVD) y la difusión en la producción de circuitos integrados y paneles de visualización.
La calidad de los gases especiales electrónicos está determinada principalmente por su pureza y limpieza. Generalmente, la pureza requerida de estos gases alcanza 5N-6N (N se refiere al número de nueves en el porcentaje de pureza, por ejemplo, 5.7N significa 99.9997%, 6N significa 99.9999%). Además, se requiere la purificación de elementos metálicos al nivel de 10^-9 a 10^-12. Cada aumento en el nivel de pureza o disminución en la concentración de partículas e impurezas metálicas aumenta significativamente la complejidad y la dificultad del proceso de producción. Si la pureza o limpieza de los gases especiales electrónicos no cumple con los estándares, puede resultar en una calidad inferior a la estándar de los productos posteriores o, en casos graves, una contaminación generalizada de toda la línea de producción, lo que lleva al desguace completo de los productos.
- Cloruror de hidrógeno (HCl)
- Tetrafluoruro de carbono (CF4)
- Trifluoruro de nitrógeno (NF3)
- Amoniaco (NH3)
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